FMS - Facility Monitoring System

FMS는 반도체 소자를 생산하는 Cleanroom의 기본 환경 및 공급 Utility(UPW 및 Bulk Gas)의 품질을 Real Time/On-line으로 Monitoring 하는 System입니다.

FAB - Fabrication Facility

반도체 제조 공정 시 배출되는 각종 배기 Duct의 원활 한 배기압력 관리를 통하여 생산력 향상 및 라인 환경 관리를 유지하고 배기압력 및 이상유무를 감시합니다.

FA - Vision & Marking System

생산정보를 Marking System으로 송출하여 인쇄 후 Vision System에서 생산정보와 인쇄를 비교 분석 하여 Feedback 합니다.