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fms

Facility Monitoring System

FMS 시스템 (Facility Monitoring System)

기술 개발 배경

반도체 소자를 생산하는 CLEAN ROOM內 기본 환경 및 공급 UTILITY(UPW 및 BULK GAS)의 품질을 REAL TIME/ON-LINE으로 MONITORING 하기 위해 SYSTEM이 개발 되었습니다.

대표적으로 FMS(Facility Monitoring System)을 통한 CLEAN ROOM내 기본 환경 측정, 배기 DUCT 압력 실시간 MONITORING SYSTEM사업을 시행합니다.

세부적으로 AIR PARTICLE, AMC(AIRBORNE MOCECULAR CONTAMINATION : 공기 입자성 오염), 온도, 습도, 풍속, 차압 등 기본 환경 측정 및 UPW(ULTRA PURE WATER)內 PARTICLE, 용존 산소, 총 유기 탄소, 비 저항, IMPURITY(ION, METAL) 및 BILK GAS(O2, Ar, He, H2, N2 등)內 H2O, IMPURITY등 UTILITY MONITORING을 목적으로 합니다.

FMS (Facility Monitoring System)

Cleanroom 內 기본 환경 및 Utility 품질을 Monitoring하는 각종 Sensor 및 설비, Monitoring할 수 있는 System 그리고 이를 각각 연결해 주는 각종 Jig, Tube, Cable, Rack 등으로 구성됩니다.

기본 환경
  • Air Particle, AMC(Airborne Mocecular Contamination : 공기中 입자성 오염), 온도, 습도, 풍속,차압 등
Utility
  • UPW(Ultra Pure Water)內 Particle, 용존 산소, 총 유기 탄소, 비저항, Impurity(Ion, Metal) 등
  • Bulk Gas(O2, Ar, He, H2, N2 등)內 H2O, Impurity 등

FMS 구성도

Leak Detection System

누수누액감지 / LEAK DETECTION SYSTEM

기술 개발 배경

누수 초기에 누수발생 장소 와 위치를 담당자에게 알려주는 조기경보 시스템입니다.

기업의 두뇌인 전산실, 통신실,전기실,기계실,시험실,공장 등에서 누수 나 침수가 발생되면 모든 것이 마비되고 설비를 멈춘 후 교체 해야 하는 치명적인 손실로 발전할지도 모릅니다.
누군가가 누수발생 사실을 알고 신속히 대처할 수 만 있다면 업무가 마비되는 치명적인 사태는 방지 할 수 있습니다.

반도체, 전자부품, 모든 생산 공정에는 각종 액체 물질이 사용되는데, 누수·누유 가 발생되어 전기로 구동되는 각종 시스템에 오류가 나 대형 사고의 원인이 될 수 있는 현장을 초기에 감지하여, 2·3차 재해를 막기 위해 액체 감지 센서는 필수적으로 사용됩니다.

POINT SENSOR

WSEND-P-S

본 제품은 물과 액상 화학물질을 구별하여 화학물질에만 반응하여 감지되는 특수 포인트 센서로써 기술로 기존 포인트 센서의 문제점 (잦은 오작동, 약한 내구성, 물에도 경보 작동 등)을 동시에 해결 할 수 있도록 제작 하였습니다.

모델
  • WSEND-P-S
주요 기능
  • Chemical Leak Sensor
특 징
  • 물과 케미컬 용액에 모두 반응하는 센서로 구성 가능합니다.
  • 물에는 반응을 하지 않으며 케미컬 용액에만 반응하는 센서로 구성 가능합니다.
적용 분야
  • 화학약품 배관 이음 부분.
  • 화학약품 보관 탱크 주변.
  • 화학약품을 사용하는 모든 자동화 생산설비 등.
Material
  • SUS304, POLYACETAL etc.
Size
  • 74.2 X 28.7

ALARM MODULE

WSEND-C5-21

본 제품은 물, 케미컬 검출(산,알카리) 전용 다 체널 알람모듈 입니다.
알람, Modbus 통신 연결로 원거리 중앙 감시반(실내)에서 상태 확인도 가능하며 금속 재질로 제작되어 외부 충격과 노이즈에 강하여 실외 설치에 최적화 되어 있으며 다양한 환경과 열악한 조건에서도 설치 및 적용이 용이합니다.

Model
  • WSEND-C5-21
주요기능
  • Leak Sensor Module
COMMUNICATION
  • 주요 기능을 외부에서 설정 가능하도록 하여 다양한 현장에 적용 가능합니다.
  • 불필요한 기능을 배제하여 누구나 쉽게 조작 가능합니다.
  • 현재 값을 실 시간으로 확인이 가능 하다.
Communication
  • Modbus(RS-485),NO/NC,5CH
Size
  • 157 X 104

누수센서 SYSTEM 구성

Leek Detection System

차별화된 모니터링 서비스
  • 실시간 Data 및 이슈상황 모니터링
  • 이슈 상황 스마트 폰 알림 서비스
  • 데이터 변화 상태 저장 및 Report 변환